第388章


有时候两人甚至两三天都没有交流,他们两人还觉得挺正常的。

光刻机的构造很复杂,零件很多,目前最高端的光刻机重量接近200吨,由大约十万个零件组成。

并且这些零件很多都是核心零件,缺一不可。

每一个零件都需要很多技术突破才能做出来。

有些工程师说过,光刻机里的一些零件甚至需要打磨十年才能成功。

何国虽然能产出最先进的光刻机,但是他们国家也只是做一个组装和调试的工作罢了。

因为他们所组装的光刻机,里面绝大多数的核心零件都来自于西方国家。

也有人称,要把西方阵营的国家都合在一起,才能造出一台最顶尖的光刻机。

所以在某种程度上来说,华国想造出最顶尖的光刻机,并不是在跟某一个国家做对抗。

而是在跟整个西方世界做对抗。

但这些林曦月都不害怕,零件没有,那就造。

光刻机的研制最难把控的地方来自于它需要超高的精准度,这也是为什么有些工程师说一个零件都需要打磨十年。

因为只有经过反复的调整和试验,才能达到顶尖光刻机所需要的精确度。

他们的十年打磨在林曦月的手下只需要短短的几天时间。

在这一个项目中,林曦月跟方院士产生分歧的次数很少,两人在很多时候都能达成一致。

目前他们正在尝试制作光刻机的镜头,要做一个顶尖的光刻机,它所要求的镜头技术极其高。

只有镜头的性能足够好,精确度才会提高,光刻机咋子绘制电路图的时候才不会出现任何偏差。

在历经一个多个月后,他们制作出了具备EUV光刻机所需的钼/硅反射镜。

研究室里,林曦月带着特殊制作的眼镜,看着处于真空状态下的反射镜。

“开始测试。”

同样戴着眼镜的曹育华慎重的点点头,进行一系列操作,开始测试。

测试很快,过了一会,被放慢无数倍的测试过程展现在大家眼前。

伴随着一串又一串的数据渐渐的浮现。

严谨站在林曦月旁边,开始记录这一串又一串的数据,脸上开始出现激动的神情。

“镜片对EUV的吸收率,5%。”

“冷却系统成功处理掉镜片吸收的热量。”

......

随着严谨的声音在寂静的研究室里响起,其余人的脸上开始越来越激动。

这个数据可以说是目前世界上最好的镜头了吧!

要知道国外的镜头就算做的再好,镜片对EUV的吸收率都要30%。

但是光刻机中,一整个反射系统就需要十一枚这样的反射镜。

这也导致最后真正用于光刻芯片的光强只剩些2%。

林曦月的嘴角弯起,露出一抹笑容,这个数据的镜头,已经够用了。

华国现在的镜头都需要从国外引入,有了它,国外都得来跟华国引入镜头!

“老大!我们做出来了!成功了!”严谨汇报完数据,看着真空状态下的镜头,神情激动地说道。

林曦月点点头,“嗯,做出来了。”

镜头算是他们做光刻机的一大门槛,所以他们才会那么激动。

方院士抹了抹脑门上的汗,这个数据,总算是没有白费力气。

想着镜头成功了,林曦月想给他们几人放个假休息一天。

没想到却被众人给拒绝了。


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