第383章

闻言林曦月惊讶的看向方院士，他跟罗所长竟然认识？

不过仔细想想也不足以为奇，毕竟方院士之前在物理光学有所涉猎，那跟光电所的所长认识也不是什么奇怪事。

并且华科院就这么大，院士也不多。

方院士冷哼一声，没有回话。

就是因为认识罗甘他才会对一开始在机场认错人的乌龙有点不满，在他看来就是罗甘的安排有点问题。

罗甘也不生气，方院士的怪脾气他也知道，向小助理投去一个眼神后接着跟林曦月聊。

小助理接收到眼神之后轻轻地点头，泡好茶水就退出去。

去找接机的几人了解一下是发生了什么事，虽然方院士脾气臭，但是也不至于一上来就摆臭脸。

林曦月对他们的眼神交流假装没有看到，依旧神情自然地跟罗甘交谈。

他们聊之前林曦月的项目，聊着聊着便聊到光刻机的项目。

无论罗甘问什么问题，林曦月都能对答如流。

不管是她之前的项目，还是下一个项目，光刻机。

这让罗甘更加疑惑，林院士看起来不像是对光刻机不了解的样子，甚至她对光刻机的了解很深。

那为什么会定下那么离谱的研究目标？

想了想，罗甘直接开口问道：“其实罗某在看到林院士的项目申请书时，就有一个疑问，不知当讲不当讲？”

林曦月莞尔一笑，她知道罗甘想问什么。

“罗所长是想问我为什么会想研究光刻机，或者说为什么我会将光刻机研究的目标定为3nm？”

说直白点，就是她有什么本事能将目标定的那么高。

罗甘被戳破也不觉得尴尬，从容一笑，“确实，罗某一直有这一个疑问，在见到林院士的时候，罗某更加想不通，还请林院士帮罗某解答一二。”

林曦月也没有对他遮掩什么，毕竟对方是光电所的所长，没必要遮掩。

她向严谨招招手，一旁的严谨从包里掏出一叠资料，在桌面上铺开。

“罗所长，请看，这是我们这段时间整理的资料。”林曦月翻开资料，一一的讲解。

“现在咱们国家主要引入的是DUV光刻机，也叫深紫外线光刻机，主要用于10-130nm芯片的制作，这也是因为DUV光刻机的技术相对成熟，所以即使霉国想剥夺我们的DUV自由，甚至多次提出相关的议案，都被这些公司给驳回。”

“光电所目前主要研究的也是DUV，但是这一次我们项目主要研究的是EUV光刻机，也叫极紫外线光刻机...”

罗甘原本想说咱们连DUV都研究不来呢，还想着研究EUV？

只是还没等他问出口，林曦月就让他稍安勿躁，接着往下听。

“EUV光刻与DUV光刻不同，它采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源...”

随着渐渐的听下去，罗甘的脸色越来越严肃，眼里也充满对林曦月的震惊。

罗甘听完后，沉默了许久，突的他又想到一个问题。

“EUV光刻机的量产问题...”

是啊，EUV制造虽然很难，但是它的量产是一个很大的问题。

林曦月露出一个浅浅的笑容，这一次不用她伸手，严谨就已经将资料摊开在桌面上。

“关于量产问题，我们有以下方案...”

罗甘被那一沓资料震得瞪大了双眼，你们项目组都做的这么齐全吗？


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